MOS හෝ SBD නිෂ්පාදන පර්යේෂණ සහ ව්‍යාජ ශ්‍රේණිය සඳහා අඟල් 6 150mm සිලිකන් කාබයිඩ් SiC වේෆර් 4H-N වර්ගය
යෙදුම් ක්ෂේත්‍ර
අඟල් 6 ක සිලිකන් කාබයිඩ් තනි ස්ඵටික උපස්ථරය බහු කර්මාන්තවල තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. පළමුව, එය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ බල ට්‍රාන්සිස්ටර, ඒකාබද්ධ පරිපථ සහ බල මොඩියුල වැනි අධි බලැති ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග නිෂ්පාදනය සඳහා බහුලව භාවිතා වේ. එහි ඉහළ තාප සන්නායකතාවය සහ ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය වඩා හොඳ තාප විසර්ජනයකට ඉඩ සලසයි, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස කාර්යක්ෂමතාව සහ විශ්වසනීයත්වය වැඩිදියුණු වේ. දෙවනුව, නව ද්‍රව්‍ය සහ උපාංග සංවර්ධනය සඳහා පර්යේෂණ ක්ෂේත්‍රවල සිලිකන් කාබයිඩ් වේෆර් අත්‍යවශ්‍ය වේ. ඊට අමතරව, සිලිකන් කාබයිඩ් වේෆර් LED සහ ලේසර් ඩයෝඩ නිෂ්පාදනය ඇතුළුව ඔප්ටෝ ඉලෙක්ට්‍රොනික්ස් ක්ෂේත්‍රයේ පුළුල් යෙදුම් සොයා ගනී.
නිෂ්පාදන පිරිවිතර
අඟල් 6 ක සිලිකන් කාබයිඩ් තනි ස්ඵටික උපස්ථරයේ විෂ්කම්භය අඟල් 6 (ආසන්න වශයෙන් 152.4 මි.මී.) වේ. මතුපිට රළුබව Ra < 0.5 nm වන අතර ඝණකම 600 ± 25 μm වේ. උපස්ථරය පාරිභෝගික අවශ්‍යතා මත පදනම්ව N-වර්ගයේ හෝ P-වර්ගයේ සන්නායකතාවයෙන් අභිරුචිකරණය කළ හැකිය. එපමණක් නොව, එය පීඩනය සහ කම්පනයට ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව ඇති සුවිශේෂී යාන්ත්‍රික ස්ථායිතාවයක් පෙන්නුම් කරයි.
| විෂ්කම්භය | 150±2.0මි.මී. (අඟල් 6) | ||||
| ඝනකම | 350 μm±25μm | ||||
| දිශානතිය | අක්ෂය මත: <0001>±0.5° | අක්ෂය හැර: 1120±0.5° දෙසට 4.0° | |||
| බහු වර්ගය | 4H | ||||
| ප්‍රතිරෝධකතාව(Ω·සෙ.මී.) | 4එච්-එන් | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| ප්‍රාථමික පැතලි දිශානතිය | {10-10}±5.0° | ||||
| ප්‍රාථමික පැතලි දිග (මි.මී.) | 47.5 මි.මී.±2.5 මි.මී. | ||||
| දාරය | චැම්ෆර් | ||||
| ටීටීවී/බෝ /වෝර්ප් (අම්) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| AFM ඉදිරිපස (Si-face) | පෝලන්ත Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.5 nm | |||||
| එල්ටීවී | ≤3μm(10මි.මී.*10මි.මී.) | ≤5μm(10මි.මී.*10මි.මී.) | ≤10μm(10මි.මී.*10මි.මී.) | ||
| ටීටීවී | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
| දොඩම් ලෙලි/ වලවල්/ ඉරිතැලීම්/ දූෂණය/ පැල්ලම්/ ඉරි | කිසිවක් නැත | කිසිවක් නැත | කිසිවක් නැත | ||
| ඉන්ඩෙන්ට් | කිසිවක් නැත | කිසිවක් නැත | කිසිවක් නැත | ||
අඟල් 6 සිලිකන් කාබයිඩ් තනි ස්ඵටික උපස්ථරය අර්ධ සන්නායක, පර්යේෂණ සහ දෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්‍රොනික කර්මාන්තවල බහුලව භාවිතා වන ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත ද්‍රව්‍යයකි. එය විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවය, යාන්ත්‍රික ස්ථායිතාව සහ ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය ලබා දෙන අතර එමඟින් අධි බලැති ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග නිෂ්පාදනය සහ නව ද්‍රව්‍ය පර්යේෂණ සඳහා සුදුසු වේ. විවිධ පාරිභෝගික ඉල්ලීම් සපුරාලීම සඳහා අපි විවිධ පිරිවිතර සහ අභිරුචිකරණ විකල්ප සපයන්නෙමු.සිලිකන් කාබයිඩ් වේෆර් පිළිබඳ වැඩි විස්තර සඳහා අප හා සම්බන්ධ වන්න!
විස්තරාත්මක රූප සටහන
