SiO2 තුනී පටල තාප ඔක්සයිඩ් සිලිකන් වේෆර් 4inch 6inch 8inch 12inch
වේෆර් පෙට්ටිය හඳුන්වාදීම
ඔක්සිකරණය වූ සිලිකන් වේෆර් නිෂ්පාදනය කිරීමේ ප්‍රධාන ක්‍රියාවලියට සාමාන්යයෙන් පහත පියවර ඇතුළත් වේ: මොනොක්‍රිස්ටලීන් සිලිකන් වර්ධනය, වේෆර්වලට කැපීම, ඔප දැමීම, පිරිසිදු කිරීම සහ ඔක්සිකරණය.
Monocrystalline silicon growth: පළමුව, Czochralski ක්‍රමය හෝ Float-zone ක්‍රමය වැනි ක්‍රම මගින් monocrystalline සිලිකන් ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී වගා කෙරේ.මෙම ක්‍රමය මඟින් ඉහළ සංශුද්ධතාවය සහ දැලිස් අඛණ්ඩතාව සහිත සිලිකන් තනි ස්ඵටික සකස් කිරීමට හැකියාව ලැබේ.
ඩයිසිං: වැඩුණු මොනොක්‍රිස්ටලීන් සිලිකන් සාමාන්යයෙන් සිලින්ඩරාකාර හැඩයකින් යුක්ත වන අතර වේෆර් උපස්ථරයක් ලෙස භාවිතා කිරීම සඳහා තුනී වේෆර්වලට කපා ගත යුතුය.කැපීම සාමාන්යයෙන් දියමන්ති කපනයකින් සිදු කෙරේ.
ඔප දැමීම: කැපූ වේෆරයේ මතුපිට අසමාන විය හැකි අතර සුමට මතුපිටක් ලබා ගැනීම සඳහා රසායනික-යාන්ත්‍රික ඔප දැමීම අවශ්‍ය වේ.
පිරිසිදු කිරීම: ඔප දැමූ වේෆර් අපිරිසිදු හා දූවිලි ඉවත් කිරීම සඳහා පිරිසිදු කර ඇත.
ඔක්සිකරණය: අවසාන වශයෙන්, සිලිකන් ෙව්ෆර් එහි විද්‍යුත් ගුණාංග සහ යාන්ත්‍රික ශක්තිය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ් ආරක්ෂිත තට්ටුවක් සෑදීමට මෙන්ම ඒකාබද්ධ පරිපථවල පරිවාරක තට්ටුවක් ලෙස සේවය කිරීම සඳහා ඔක්සිකාරක ප්‍රතිකාර සඳහා ඉහළ උෂ්ණත්ව උදුනකට දමනු ලැබේ.
ඔක්සිකරණය වූ සිලිකන් වේෆර්වල ප්‍රධාන භාවිතයන් අතර ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදනය, සූර්ය කෝෂ නිෂ්පාදනය සහ අනෙකුත් ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග නිෂ්පාදනය ඇතුළත් වේ.සිලිකන් ඔක්සයිඩ් වේෆර් අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍ය ක්ෂේත්‍රයේ බහුලව භාවිතා වන්නේ ඒවායේ විශිෂ්ට යාන්ත්‍රික ගුණාංග, මාන සහ රසායනික ස්ථායීතාවය, ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී සහ අධික පීඩනවලදී ක්‍රියා කිරීමේ හැකියාව මෙන්ම හොඳ පරිවාරක සහ දෘශ්‍ය ගුණාංග නිසාය.
එහි වාසි අතර සම්පූර්ණ ස්ඵටික ව්‍යුහයක්, පිරිසිදු රසායනික සංයුතිය, නිරවද්‍ය මානයන්, හොඳ යාන්ත්‍රික ගුණ යනාදිය ඇතුළත් වේ. මෙම ලක්ෂණ සිලිකන් ඔක්සයිඩ් වේෆර් විශේෂයෙන් ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත ඒකාබද්ධ පරිපථ සහ අනෙකුත් ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග නිෂ්පාදනය සඳහා සුදුසු වේ.
විස්තරාත්මක රූප සටහන
